WikiDer > MEMS sensori avlodlari

MEMS sensor generations

Bu maqola katta yoki to'liq bitta narsaga tayanadi manba. Iltimos yordam bering ushbu maqolani yaxshilang tanishtirish orqali iqtiboslar qo'shimcha manbalarga.
Manbalarni toping: "MEMS sensori avlodlari" – Yangiliklar · gazetalar · kitoblar · olim · JSTOR (2017 yil fevral)

MEMS sensori avlodlari mikroda erishilgan yutuqlarni aks ettiradi Sensor texnologiyasi va quyidagicha tasniflanishi mumkin:

1-avlod: MEMS sensor elementi asosan a ga asoslangan kremniy tuzilishi, ba'zan bilan birlashtiriladi analog a-da kuchaytirish mikro chip.^[1]

2-avlod: MEMS sensori elementi analog amplifikatsiya bilan birlashtirilgan va analog-raqamli konvertor bitta mikro chipda.

3-avlod: Sensor elementini analog kuchaytirgich bilan birlashtirish, analog-raqamli konvertor va raqamli bir xil mikrosxemada linearizatsiya va haroratni qoplash uchun aql.

4-avlod: Kalibrlash uchun xotira xujayralari- va haroratni qoplash to'g'risidagi ma'lumotlar 3-MEMS sensori yaratish elementlariga qo'shiladi.

Adabiyotlar

^ S.C.Terry, J.H.Jerman va JB.Anjell: Silikon plastinada ishlab chiqarilgan gaz xromatografik havo analizatori, IEEE Trans.Electron Devices, ED-26,12 (1979) 1880-1886.