WikiDer > Mikrooptomekanik tizimlar
Bu maqola emas keltirish har qanday manbalar.  (2015 yil may) (Ushbu shablon xabarini qanday va qachon olib tashlashni bilib oling)  | 
Mikrooptomekanik tizimlar (ONALAR) deb yozilgan mikro-optomekanik tizimlar, ning maxsus sinfi mikroelektromekanik tizimlar (MEMS) optik va mexanik, ammo elektron qismlardan foydalanilmaydi.
Shuningdek qarang
- Mikrooptoelektromekanik tizimlar (MOEMS)
 - Nanoelektromekanik tizimlar (NEMS)
 
| Ushbu texnologiya bilan bog'liq maqola a naycha. Siz Vikipediyaga yordam berishingiz mumkin uni kengaytirish. |