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Spincoating
Das Schleuderbeschichtungsverfahren bei der Herstellung von a Wafer

EIN Schleuderbeschichtung ist ein Oberflächenbehandlungsverfahren zum Auftragen einer dünnen, gleichmäßigen Deckschicht (Beschichtung oder Film) auf ein Substrat (Substrat).

Prozess

Eine Flüssigkeit wird in der Mitte auf ein rotierendes Objekt (z. Wenn sich das Objekt dreht, wird die Flüssigkeit herausgeschleudert. Weil die Flüssigkeit durchfließt Adhäsion mit der richtigen Geschwindigkeit und zum richtigen Zeitpunkt auf dem Substrat haftet, bleibt nur ein dünner Flüssigkeitsfilm auf dem rotierenden Objekt zurück. Die überschüssige Flüssigkeit wird durch den Zentrifugalkraft.

Schematische Darstellung des Spincoating-Prozesses

Anwendung

Schleuderbeschichtungen werden bei der Herstellung von Waffeln, oleds und CDs.

Siehe auch

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